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書誌情報

タイトル

低温プラズマ材料化学 

著者名 長田 義仁/編著
著者名ヨミ オサダ ヨシヒト
出版者 産業図書
出版年月 1994.3
内容紹介 1.低温プラズマによる物質創製の意義 2.プラズマの化学 3.プラズマCVD 4.イオンプレーティング 5.スパッタリング 6.プラズマ重合 7.プラズマ表面処理 8.プラズマエッチング


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 請求記号 配架場所 貸出可否 状態 貸出
1 中央0115466948図書一般501ナ//保存書庫 在庫 

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1994
工業材料 プラズマ物理学
501.4 501.4

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000473502
書誌種別 図書
著者名 長田 義仁/編著
出版者 産業図書
出版年月 1994.3
ページ数 296p
大きさ 22cm
ISBN 4-7828-2053-4
タイトル 低温プラズマ材料化学 
タイトルヨミ テイオン プラズマ ザイリョウ カガク 
内容紹介 1.低温プラズマによる物質創製の意義 2.プラズマの化学 3.プラズマCVD 4.イオンプレーティング 5.スパッタリング 6.プラズマ重合 7.プラズマ表面処理 8.プラズマエッチング
件名 工業材料
件名 プラズマ物理学



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